GRADE CLEANING · UV-A VISUAL SCREENING
看見螢光不等於完成驗收
先固定條件，再確認它代表什麼
PDL-II可協助定位會在365nm UV-A下產生螢光的粒子與殘留；它是潔淨作業中的可視化工具，不是把亮點直接換算成潔淨等級的儀器。
START FROM THE ACCEPTANCE RULE
先找到誰定義乾淨
再決定光要怎麼照
- 01
正式要求出自哪一份文件？
先確認客戶規範、圖面、合約、清洗程序與最新版次。設備型錄中的適用描述，不能自行取代客戶的放行條件。
- 02
要找的物質會產生螢光嗎？
油脂、示蹤物或部分粒子可能有反應，但並非所有無機粒子、薄膜與化學殘留都能用同一種UV-A方法看見。
- 03
觀察條件能不能被重複？
距離、角度、掃描速度、環境光、表面材質與觀察方向都會影響可見度，必須先固定才能比較。
- 04
亮點出現後要怎麼處置？
事先定義標記、拍照、重洗、取樣與複驗路徑，避免現場只得到「有看到」卻沒有可執行的結論。
READ THE CLAIM EXACTLY
原廠寫的是適用表述
不是無條件的驗收結論
最安全的做法，是保留原始文件的用語，並把設備能力、客戶要求與正式驗證分開。
Grade 2／Grade 4 cleaning
- 原廠文件列出「Grade 2 & Grade 4 cleaning」
- 同處註記「conform: ASML GSA 07 9410 & GSA 07 9510」
- 光源配置為365nm ±5nm UV-A及中央白光
- 這是採購與方法評估的重要來源資料
不能自行延伸成三種結論
- 不能在沒有直接證明時改稱ASML官方認證
- 不能把Grade 2／4寫成ISO 16232等級
- 不能把螢光亮點換算成粒子數、尺寸或質量
- 不能取代客戶品質系統規定的正式放行方法
A THREE-LAYER INSPECTION FLOW
白光、UV-A、正式複驗
各自回答不同問題
把三層結果留在同一份紀錄，才能避免把視覺提示誤寫成定量證明。
LAYER 01
白光先確認表面
建立位置、材質與可見缺陷的共同基準- 確認零件區域、孔洞、邊緣與反光
- 記錄刮痕、污漬或肉眼可見殘留
- 區分表面紋理與後續UV-A指示
- 保存同一視角的白光照片
LAYER 02
UV-A定位螢光指示
用固定條件比較位置與變化，不直接推算污染量- 固定燈具距離、角度與掃描速度
- 控制環境光與觀察者適應狀態
- 標記位置、範圍、顏色與相對強弱
- 和已知乾淨樣及污染樣比較
LAYER 03
依程序處置與複驗
亮點是需要確認的位置，不是自動的合格或不合格- 依程序決定重洗、擦拭或取樣
- 需要時使用粒子計數或化學分析
- 保留批次、位置、照片及操作者
- 由核准標準作最後放行判定
USE THE RIGHT EVIDENCE
想回答的問題不同
需要的證據也不同
UV-A最大的價值是快速縮小範圍；當問題轉成數量、成分或正式符合性，就必須換用相應方法。
| 要回答的問題 | 白光目視 | 365nm UV-A | 正式量測／分析 |
|---|---|---|---|
| 表面位置與可見污漬 | 適合 | 可輔助 | 視程序而定 |
| 可螢光殘留在哪裡 | 可能看不清 | 主要用途 | 可針對位置複驗 |
| 所有污染是否已移除 | 不能單獨證明 | 不能單獨證明 | 依核准方法與限制判定 |
| 粒子數量與尺寸 | 不可定量 | 不可直接換算 | 使用相應計數與分析方法 |
| 污染物化學成分 | 無法確認 | 無法僅憑顏色確認 | 使用相應化學分析方法 |
| 正式Grade cleaning放行 | 依客戶規範、合約、程序與最新版受控文件決定 | ||
沒有任何單一光源能涵蓋所有污染。採購前應以代表性材質、已知污染與已知乾淨樣測試，並由品質單位確認方法如何納入程序。
FIVE COMMON MISREADINGS
五個最容易讓潔淨判讀
走得太快的誤解
真正可靠的流程不是讓每個亮點看起來都很嚴重，而是知道它能證明到哪裡。
不是。PDL-II原廠文件指向ASML GSA文件；ISO 16232屬道路車輛零組件技術清潔度的顆粒污染量測。
不成立。不是所有污染物都會產生可見螢光，表面背景與照射條件也可能遮蔽反應。
不能直接推論。物質特性、距離、角度、表面與相機設定都會改變亮度。
不夠。波長、濾光、照射距離、光束範圍、環境光與樣品反應要一起評估。
不一定。防護等級不等於潔淨室材料、消毒方式、進場程序或客戶核准。
先用已知樣品建立界線，再檢查真正未知的零件BUILD A REPEATABLE METHOD
導入UV-A初篩
至少完成四個步驟
- 01
準備代表性樣品同材質的已知乾淨樣、已知污染樣與實際零件要一起比較。
- 02
固定觀察條件記錄距離、角度、範圍、環境光、掃描時間與操作者；需要時量測UV-A輻照度。
- 03
白光與UV-A交叉記錄以相同位置、方向和命名方式留下照片與結果。
- 04
定義處置與放行事先寫清楚何時重洗、何時複驗，以及最後由哪一個核准方法判定。
SOURCES & TECHNICAL REVIEW
資料來源
與標準界線
本文保留PDL-II原廠技術文件的Grade cleaning表述，並以ISO官方資料釐清不同標準不可混稱。ASML GSA受控文件的實際版本、適用範圍及驗收要求，仍應由客戶或合約方提供並確認。
重要限制：本文不是ASML受控規範的替代版本，也不構成潔淨度認證或放行依據。正式作業以客戶最新版規範、品質程序、合約要求及核准量測方法為準。
- 內容負責
- 宇創技術應用團隊
- 審閱範圍
- 原廠表述、UV-A觀察條件、標準分界與驗收限制
- 最後審閱
- 2026年8月26日
FAQ
採用以前
最常被問的問題
PDL-II通過ASML官方認證嗎？
原廠技術文件使用Grade 2與Grade 4 cleaning，並註記conform: ASML GSA 07 9410與GSA 07 9510。除非能提出ASML直接核發且可查證的證明，不應把這段原廠表述改寫成ASML官方認證。
Grade 2與Grade 4是ISO 16232的等級嗎？
不是。PDL-II原廠文件的Grade 2與Grade 4指向ASML GSA文件；ISO 16232是道路車輛零組件技術清潔度的顆粒污染量測標準，兩者不可混稱。
UV-A下沒有亮點就代表完全乾淨嗎？
不能這樣判定。並非所有污染都會在365nm UV-A下產生可見螢光；材質背景、環境光、照射條件與觀察者也會影響結果。
UV-A亮點可以換算成粒子數或尺寸嗎？
不能直接換算。亮度與可見面積受到物質螢光特性、距離、角度、表面及相機設定影響，不能單靠目視推算粒子數、尺寸或質量。
TEST THE METHOD BEFORE RELEASE
先確認你的污染看不看得到
再決定它如何進入品質流程
提供材質、污染類型、清洗程序、客戶要求與代表性樣品，宇創協助比較白光與UV-A結果，建立合理的初篩與複驗路徑。