半導體設備與無塵室
巡查設備表面、治具與零件上的可螢光粒子或殘留,協助Grade cleaning作業初篩。

PDL-II POWERLIGHT · 365 NM UV-A
使用365nm UV-A與濾光設計,快速尋找會產生螢光反應的粒子、油脂、示蹤劑及表面殘留,再把複驗集中到真正值得確認的位置。
UV-A可視化是目視初篩,不是所有污染都會螢光,也不能單獨取代正式潔淨驗證。
FIT CHECK
把它放在正確的品質流程中:先用光源找位置、留下紀錄,再依污染風險與規範決定複驗方法。
巡查設備表面、治具與零件上的可螢光粒子或殘留,協助Grade cleaning作業初篩。
在固定條件下比較清洗前後的油脂、示蹤物或可見殘留,快速定位需重洗區域。
在核准的示蹤或清潔驗證程序中輔助目視;正式放行仍依取樣與品質系統。
搭配合適螢光介質或程序尋找表面指示;不可省略材料、顯像及適用標準要求。

CONTROL THE VIEWING CONDITION
先固定檢查方法,才能讓不同人、不同批次與不同時間的觀察具有可比較性。
FROM FLUORESCENCE TO ACTION
一套有用的流程,必須把發現、定位、處置與複驗串在一起。
用UV-A尋找螢光指示,再以中央白光確認工件位置、表面狀況與背景差異。
記錄位置、照射條件和指示型態,決定局部清潔、重洗或進一步取樣。
在相同條件重複檢查,並依品質程序使用適當方法確認是否符合放行要求。
DECISION SPECIFICATIONS
高功率能提供照明餘裕;真正可判讀性仍由光譜純度、環境光、距離、樣品反應與觀察方式共同決定。
UV-A EXCITATION
五顆UV-A LED提供365nm檢查光源,特殊干涉濾光片用於抑制可見光干擾。
WHITE LIGHT
中央白光可在同一支燈具上確認工件位置、擦痕、表面結構及非螢光可見異常。
FIELD DURABILITY
硬質陽極處理鋁合金機身、IP67與磁吸充電,對應日常巡檢與潔淨作業。
* 數值依原廠當期技術文件;不同文件版本可能有小幅差異,正式供貨以隨附規格與報價確認。
* Grade 2/Grade 4為原廠清潔適用分類與引述文件,不應改寫為ISO 16232認證。驗收依據應由客戶品質系統、合約及適用規範決定。
FAQ
把能看見與不能證明的界線先說清楚,才能讓光源真正改善流程。
不能。它能協助看見會在365nm UV-A下產生螢光反應的污染、粒子或示蹤殘留,但不是所有污染都會螢光。正式放行仍依品質程序複驗。
濾光片用來抑制可見光雜訊,降低藍紫光對螢光反應的遮蔽,使觀察者更容易辨認真正螢光位置。
原廠文件列為適用Grade 2與Grade 4 cleaning,並引述ASML GSA 07 9410與07 9510。實際驗收仍依客戶規範與合約,不能改稱通用ISO認證。
距離、角度、環境光、表面反光、觀察方向及暗適應都會影響可見度。應固定條件並使用已知乾淨與污染樣品建立基準。
避免直視UV-A及高強度白光,不要照射眼睛或皮膚;依風險評估使用合適護目鏡和防護措施,並遵循原廠手冊及場所規範。
CONTENT & TECHNICAL REVIEW
本頁依PDL-II POWERLIGHT原廠型錄、規格文件、操作手冊及宇創應用資料整理。UV-A適合可螢光污染的目視定位與初篩,不單獨證明所有污染均已去除,也不取代品質系統核准的正式驗收方法。
TEST THE SAMPLE BEFORE YOU DECIDE
提供材質、污染物、清潔流程與驗收要求,我們協助比較UV-A與白光結果,確認PDL-II應放在流程的哪一步。