工業 CT 檢測專題

微米/奈米 CT 選型解析度之外還要看什麼?

選 CT 時,工件放不放得進去、材料能否穿透,以及想看的缺陷有多小,都要一起確認。本文說明解析度、視野與掃描工時的取捨。

UCI 應用編輯室設備採購・材料研究・品保最後審閱 閱讀約 3 分鐘
選型關係示意圖
技術圖解選型關係示意圖。非設備性能曲線;實際條件需以代表性樣品確認。
本篇內容

選 CT 時,除了最小的 µm 數字,也請把工件尺寸和要找的缺陷大小放在一起看。小樣品測得的最佳解析度,不一定能在整個大工件上達成。

01

先分清楚三個容易混用的指標

體素尺寸

三維資料中取樣單元的大小,與掃描幾何及重建設定有關。

空間解析度

實際能分開辨識的細節能力;還受到焦點、探測器、運動與雜訊影響。

量測精度

尺寸結果與真值接近的程度,需要校準、方法及不確定度支撐。

試掃時請確認目標缺陷在需要的視野下是否看得清楚。
02

放大倍率、視野與穿透能力一起評估

提高幾何放大倍率,通常需要將工件移近射線源,這會受到工件外形、旋轉包絡及治具限制。視野變小後,可能需要局部掃描或其他採集策略,因此不能把小樣品的最佳細節直接套用到全件。

射線能量需要配合材料與穿透厚度;提高穿透能力也不代表所有微小細節都會更清楚。焦點、功率、對比、濾片與曝光時間之間,需要按任務平衡。

03

以需求對照設備方向

優先需求可先討論的方向仍需確認
中小零件、緊湊工作站EasyTom S 微米 CT尺寸、負載、材料及缺陷可辨識性
整體結構與局部微細結構EasyTom L 微米/奈米配置兩種配置各自的範圍、負載與切換流程
更大工件與治具空間EasyTom XL 或其他適合平台旋轉範圍、場地、穿透路徑及影像品質
高度客製的研究配置EasyTom B 實驗室系統屏蔽室、裝置相容性與實驗操作
重複尺寸量測或生產檢測Metrology/FAB 方向校準、節拍、判定與系統整合

選定可能合適的系列後,仍需用代表性樣品確認畫面與工時。

04

安排樣品評估時,看完整流程

  1. 使用代表性良品與已知異常樣品,並保留真實材質組合及厚度。
  2. 將目標區域、最小關注缺陷與判定標準寫清楚。
  3. 記錄上料、掃描、重建、分析及報告各階段工時。
  4. 比較重複掃描與不同操作者結果,確認方法穩定性。
  5. 確認資料量、分析授權、環境與維護需求,再定義採購配置。
05

一份可以直接用來討論的需求摘要

工件:___;材質/最大厚度:___;外形/重量:___。目標缺陷:___;關鍵區域:___;需要的輸出:切片/定位/尺寸/分布/CAD 比對。檢測頻率與可接受工時:___。

若尚未知道缺陷尺度,可先提供照片、CAD 或歷史失效樣品的描述。敏感設計資料可先確認交流範圍,再安排後續討論。

資料來源與閱讀說明

  1. RX Solutions 高精度工業 CT 產品手冊(瑞埃德,202608 版)|印刷第 5–6、11–14、17 頁
  2. RX Solutions 幾何與量測應用 ↗

UCI 宇創整理|。規格與配置依所列版本說明;實際供應與檢測能力需按樣品和配置確認。

EasyTom S 設備原圖

樣品與檢查需求

帶代表性樣品確認配置

提供工件尺寸、材質、重量和最小關注缺陷,再一起確認視野、解析度與可接受工時。